陶瓷靶材檢測機構

陶瓷靶材是指制備成低壓氣相沉積用于制造微電子芯片及其他半導體和電子元器件的高純度、高密度的陶瓷材料。

陶瓷靶材檢測范圍

陶瓷靶材、ITO陶瓷靶材、二硫化鉬陶瓷靶材、摻雜陶瓷靶材、GZO靶材、磷酸鋰陶瓷靶材等。

陶瓷靶材檢測項目

斷面形貌、物相及晶型結構、相對密度和抗彎強度、密實率、形貌分析、X光射線探傷檢測、磁粉探傷、滲透探傷、晶體結構和燒結缺陷、REACH檢測、化學純度檢測、無損檢測、表面粗糙度檢測、雜質國標檢測、表面缺陷檢測、平整度檢測、XRD檢測、X射線檢測、ICP檢測、金相檢測、雜質含量檢測、常規檢測、第三方檢測、現場檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

陶瓷靶材檢測標準（部分）

1、 T/CAS 304-2018 磁控濺射硅靶材及綁定靶材

2、 T/NXCL 004-2021 旋轉硅靶材

3、 T/CHBAS 17-2022 靶材用超高純鎢板

4、 GB/T 39159-2020 集成電路用高純銅陶瓷靶材

5、 GB/T 39159-2020 集成電路用高純銅陶瓷靶材

6、 GB/T 38389-2019 氧化銦錫靶材化學分析方法

7、 DB35/T 1873-2019 熱噴涂旋轉硅靶材通用技術條件

8、 YS/T 837-2012 濺射靶材-背板結合質量超聲波檢驗方法

9、 YS/T 1158.1-2016 銅銦鎵硒靶材化學分析方法 第1部分：鎵量和銦量的測定 電感耦合等離子體原子發射光譜法

陶瓷靶材檢測流程

1、聯系客服、溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求、根據檢測經驗及標準方法、定制試驗方案；

5、進行試驗、得到試驗數據、出具測試報告；

6、完善的售后服務、可隨時咨詢；

上海復達檢測是法定第三方檢測機構，具有CMA、CNAS等資質，陶瓷靶材檢測服務面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區。