濺射靶材檢測機構

濺射靶材的要求較傳統材料行業高，一般要求如，尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制。

濺射靶材檢測范圍

鉻鉭鈦合金濺射靶材、磁性濺射靶材、高純金屬濺射靶材、高純合金濺射靶材、氧化物陶瓷濺射靶材、氮化物濺射靶材、碳化物濺射靶材、氟化物陶瓷濺射靶材等。

濺射靶材檢測項目

外觀質量、材質鑒定、REACH檢測、化學純度檢測、無損檢測、表面粗糙度檢測、雜質國標檢測、表面缺陷檢測、平整度檢測、XRD檢測、X射線檢測、ICP檢測、金相檢測、雜質含量檢測、靶材檢測、常規檢測、第三方檢測、現場檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

濺射靶材檢測標準（部分）

1、 T/ZZB 0639-2018 氧化鋅鋁磁控濺射靶材

2、 YS/T 893-2013 電子薄膜用高純鈦濺射靶材

3、 YS/T 819-2012 電子薄膜用高純銅濺射靶材

4、 YS/T 1555-2022 鉑鈷鉻硼合金濺射靶材

5、 T/ZZB 0093-2016 集成電路用高純鈦濺射靶材

6、 YS/T 1124-2016 磁性濺射靶材透磁率測試方法

7、 YS/T 1358-2020 磁記錄用鐵鈷鉭合金濺射靶材

8、 YS/T 1357-2020 磁記錄用鉻鉭鈦合金濺射靶材

9、 GB/T 29658-2013 電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材

濺射靶材檢測流程

1、聯系客服、溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求、根據檢測經驗及標準方法、定制試驗方案；

5、進行試驗、得到試驗數據、出具測試報告；

6、完善的售后服務、可隨時咨詢；

上海復達檢測是法定第三方檢測機構，具有CMA、CNAS等資質，濺射靶材檢測服務面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區。