掩膜版檢測機構

掩膜版又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，是微電子制造過程中的圖形轉移工具或母版，是圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體。

掩膜版檢測周期：7-10個工作日(參考周期，可加急)

掩膜版檢測范圍

石英玻璃掩膜板、蘇打玻璃掩膜板、低膨脹玻璃掩膜板、透明樹脂掩膜板、硬質遮光膜掩膜板、濺鍍掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版、遮光膜光學掩模版、透明基板光學掩模版等。

掩膜版檢測項目

外觀質量、尺寸偏差、純度、熱膨脹系數、硬度、反射率檢測、光學密度檢測、直角度檢測、CD精度檢測、位置精度檢測、Zui小線寬檢測、表面平整度檢測、鉻膜厚度檢測、Zui小缺陷檢測、平整度檢測、厚度檢測、表面缺陷檢測、微觀分析、化學成分分析、常規檢測、第三方檢測、現場檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

掩膜版檢測標準（部分）

1、 T/XAI 16-2023 覆晶薄膜基板掩膜版圖紙設計規范

2、 SJ/T 11516-2015 薄膜晶體管(TFT)用掩模版規范

3、 CSN 35 8971 Cast.1-1984 半導體設備．掩膜基件和掩膜 名稱和定義

4、 CSN 35 8971-1984 半導體器件．掩膜基件和掩膜．特征參數的測量方法

5、 IPC TM-650 5.5.6.2-1998 條紋焊料掩膜涂層標準測試模式

6、 SJ/T 31119-1994 掩膜對準曝光機完好要求和檢查評定方法

7、 DIN 32566:2007 微型系統用生產設備.X射線光刻掩膜支持環用規范

掩膜版檢測流程

1、聯系客服，溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對樣品進行初步，獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求、根據檢測經驗及標準方法，定制試驗方案；

5、進行試驗，得到試驗數據，出具測試報告；

6、完善的售后服務，可隨時咨詢；

上海復達檢測是法定第三方增強橡膠軟管，具有CMA、CNAS等資質，掩膜版檢測服務面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區。