靶材檢測機構

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

靶材檢測項目

外觀質量、成分分析、未知物分析、材質鑒定、工業問題診斷分析、對比分析、材料熱分析、定性定量分析、防銹性、抗老化性、耐腐蝕性、斷面形貌、物相及晶型結構、相對密度和抗彎強度、密實率、形貌、晶體結構和燒結缺陷、常規檢測、第三方檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

靶材檢測范圍

金屬靶材、半導體靶材、電子靶材、合金靶材、高純靶材、鉬鎳系合金靶材、銀基合金靶材坯料、高純Al-Cu合金靶材、Mo-Na合金靶材、磁控濺射金基合金靶材、B2結構鎳鈦形狀記憶合金、Co-Cr-Ta合金薄膜、鎢鈦合金靶材、高鉻鋁合金靶材、氧化鋅鋁合金靶材、Al?Sc?X多元合金靶材、氧化銦錫合金靶材、磁控濺射晶界擴散的稀土合金靶材、鋁鉻合金靶材、鎂鋅鋁鎳釩合金靶材、晶粒均衡鋁合金靶材等等。

靶材檢測標準（部分）

1、 GB/T 23611-2009 金靶材

2、 YS/T 1220-2018 鉻靶材

3、 T/CAS 304-2018 磁控濺射硅靶材及綁定靶材

4、 YS/T 937-2013 鎳鉑靶材

5、 YS/T 1063-2015 鉬靶材

6、 GB/T 20510-2006 氧化銦錫靶材

7、 T/CSRE 19001-2020 金屬鐿靶材

8、 JC/T 2201-2013 鍍膜玻璃用靶材

9、 YS/T 1234-2018 鉻鉬合金（CrMo）靶材

靶材檢測流程

1、聯系客服、溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求、根據檢測經驗及標準方法、定制試驗方案；

5、進行試驗、得到試驗數據、出具測試報告；

6、完善的售后服務、可隨時咨詢；

上海復達檢測是法定第三方檢測機構，具有CMA、CNAS等資質，靶材檢測服務面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區。