電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業。

電子特氣檢測周期：7-10個工作日(參考周期、可加急)

電子特氣檢測范圍

氟甲烷、三氟化氮、三氯化硼、六氟丁二烯、摻雜用氣體、外延晶體生長氣、離子注入氣、刻蝕用氣體、氣相沉積(CVD)氣體、平衡/反應氣體、摻雜配方氣體等。

電子特氣檢測項目

成分檢測、含量測定、濃度檢測、純度、組份、熱值、雜質、水分、密度、耐壓測試、保壓測試、氦檢測試、水分測試、氧分測試、顆粒測試、常規檢測、第三方檢測、現場檢測等。（具體以客戶實際情況為準）

電子特氣檢測標準（部分）

1、 GB/T 40418-2021 電子特氣 氟甲烷

2、 GB/T 21287-2021 電子特氣 三氟化氮

3、 GB/T 17874-2021 電子特氣 三氯化硼

4、 GB/T 40417-2021 電子特氣 六氟丁二烯

5、 T/DLSHXH 006-2022 電子特氣 三甲基鋁

6、 T/DLSHXH 007-2022 電子特氣 三氟碘甲烷

7、 DB13/T 5290-2020 電子特氣氣瓶更換操作規范

8、 CGA P-46-2015 電子特種氣體的安全處理

電子特氣檢測流程

1、聯系客服、溝通檢測需求；

2、根據實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關指標；

4、根據客戶的需求、根據檢測經驗及標準方法、定制試驗方案；

5、進行試驗、得到試驗數據、出具測試報告；

6、完善的售后服務、可隨時咨詢；

上海復達檢測是法定第三方增強橡膠軟管、具有CMA、CNAS等資質、電子特氣檢測服務面向全國、包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區。